压电式移相器及其在全息干涉计量术中的应用

2018年05月08日 10:08:32 人气: 1946 来源: 哈尔滨芯明天科技有限公司

感谢关注芯明天科技-压电纳米定位技术行业

1．压电式移相器

芯明天P77压电式移相器

移相器是移相干涉仪中非常重要的部件，压电式移相器由于分辨率高、响应速度快、易于控制、性能稳定，因此被广泛使用。

但压电陶瓷也有它的缺点，即它的非线性误差以及较小的位移量，这是影响它应用范围扩大的原因。

针对这个问题，哈尔滨芯明天科技有限公司通过采用放大特性的柔性铰链式结构，设计研制压电陶瓷（PZT）电压驱动电路来驱动相移执行机构以达到移相的目的。再结合光学器件、下位机编程、以及在软件开发平台上编写数据处理程序，研制了一套移相控制测量装置。

为了有效解决PZT非线性、蠕变特性、迟滞特性对移相精度的影响，该装置采用了电压-位移形成的闭环反馈控制，实现自适应的微米级驱动定位控制，大大改善了非线性，降低了外界影响、干扰，对相移的测量精度起到了明显改善。

芯明天设计的压电式移相器通过3组压电陶瓷叠堆驱动，可用于直径达106mm孔径镜片，位移行程可达20um以上。实验已证明，该压电式移相器效果非常好，且控制精度可达亚纳米级，它可大大提高测量度，在相位测量技术中具有广泛的实用价值，且已广泛用于各种现代干涉仪器中。

激光平面干涉仪

2.压电式移相器在全息干涉计量术中的应用

在全息干涉计量术中，需要确定物体位移及形变的大小及方向，在实时检测过程中还需要对物体位移、形变的方向做出即时、迅速的判断。而这种判断的方法有很多，但有的较麻烦、有的计算复杂、有的需要特殊装置，还有的看上去非常不直观等等，这都给全息干涉计量带来很多不便。

而压电移相器恰恰能解决以上所有问题。

在实时全息干涉计量术中，为了判别物体位移、形变的方向，在参考光路上放置一个压电移相器，它实际上是一面利用压电效应控制其空间位置的小反射镜，我们使用这个移相器，镜面直径可达106mm，控制电压在0-120V范围内调节反射镜前后移动20微米或更大。利用压电移相器来改变参考光光程，并根据此时干涉条纹的动向来判断物体位移、形变的方向，此方法简单、方便、直观，能迅速地对物体位移、形变的方向作出可靠的判断。

关键词：压电式移相器,压电式位移台,压电平移台

上一篇：赛默飞色谱柱操作安装流程介绍 下一篇：动态操作压电陶瓷，您需要了解这几点！

全年征稿/资讯合作 联系邮箱：ybzhan@qq.com

版权与免责声明: 1、凡本网注明"来源：仪表网"的所有作品，版权均属于仪表网，未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用上述作品。已经本网授权使用作品的，应在授权范围内使用，并注明"来源：仪表网"。违反上述声明者，本网将追究其相关法律责任。; 2、本网转载并注明自其它来源的作品，目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性，不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时，必须保留本网注明的作品来源，并自负版权等法律责任。; 3、如涉及作品内容、版权等问题，请在作品发表之日起一周内与本网联系，否则视为放弃相关权利。; 4、合作、投稿、转载授权等相关事宜，请联系本网。

企业推荐

产品推荐

企业新闻