INFICON残余气体质谱仪

Transpector 2INFICON残余气体质谱仪

Transpector 2的特点：

1、100，200和300-amu系统带法拉第杯或电子倍增器/法拉第杯的组合。

2、改进的氢检测。

3、的峰值和位置的稳定性。

4、与原始的Transpector相比讯噪比提高10倍。

5、快速扫描低值讯号。

6、9个量级的电子学动态量程。

7、用于单传感器和多传感谢器系统的软件选件

8、分压测量从1X10^-4乇至2X10^-14乇

INFICON，RGA技术的者按照当今工艺和应用要求更新了Transpector残余气体质谱仪系列。Transpector 2提供更良好的氢检测，更快速的扫描，扩展的动态量程，更高的同位素分辨灵敏度和的谱峰及幅值稳定性。它是过程监测，过程诊断与检漏，是广大客户zui明智的选择。

Transpector 2是基于四极场的智能传感器，全部传感器电子驱动加上微处理器安装在一个附在传感器的小型轻便的密闭匣内。由于它是智能的传感器具有相当的灵活性，您可使用当前的计算机或从INFICON选购PC和软件包，两种通讯链接。RS232用于单传感器，RS485用于多传感器配置。简单的指令协议支配全部Transpector功能。

Transpector 2提供更精确可靠的数据是由采用RF和前置放大器测量电路。这些电子学提高了氢的检测性能和降低了所有气体的zui小可检分压，从而得到更好的污染控制，以及更快速更稳定的扫描，*适合当今快速工艺过程的要求。

改进带来更灵敏的氢检测

Transpector 2的RF电路，在保持适当功率的同时使用较高的RF频率，将氢的检测提高至PPM量级。此外，由于RF频率是数字合成的，它自动调整至适合于传感器的频率，并锁定在这个频率上。改进的PF电路减少预热所需的时间，提供的峰幅值与位置的稳定性，实际上免除了日常调谐质量刻度的要求。

更快速的数据扫描

Transpector 2新的前置放大器允许用户快速扫描低值讯号，从而跟上过程变化的进度。由于降低了噪声数据更加稳定与及时。当使用电子倍增器取样时，讯噪比可比原始的Transpector高至7倍（比法拉第模式高至10倍）。电子单元提供9个量级的动态量程（从1X10^-6至1X10^-15安）

Transpector 2与TWare32（或老的软件如TranspectorWare）结合提供一个满足当前的科研生产过程监测，和数据收集迫切需要的理想系统。可适用Windows95,98,2000,Me或MT的TWare32包含了整个陈列的基本RGA功能，包括趋向分析，条图形式，检漏，模拟和可选择的谱峰模式。它还包含过程监测功能包括处方的产生，自动化数据收集，和阈值限的设点。

各种软件选件

如我们的标准软件包（适用Windows的TWare32）不能满足您的应用的需要，我们可为客户供应特定的程序包。动态数据交换（DDE）驱动程序可自动设置用于通讯的Transpector，允许用户要收集的数据和进入DDE-兼容程序，如EXCEL或WonderWare直接读数据。

客户特定的工具集成

INFICON为更应用需要提供一种客户特定的工具集成软件包FabGuard。Fabguard利用基于工具的状态和Transpector的RGA数据分析例程提供全面的报警。这个多功能的集成软件包还可与RGA以外的传感器如光辐射谱仪或粒子计数器通讯。采用许多半导体工具的SECS II接口，FabGuard要收集来自工具本身的数据，并将它们添加到各种分析算法中。

只支付您需要的性能

Transpector残余气体质谱仪提供大量适合您应用要求的选择。为基本压强的应用我们供应若干开式源的Transpector型号，范围从1至300amu，用法拉第杯（FC）或电子倍增器/法拉第杯（EM/FC）组合，可根据实际的要求选用。

Transpector XPR2为过程监测应用提供zui简单方式的气体污染监测和过程校验。它运行于高至20毫乇的压强，在过程中检测低至10ppm的污染物。为满足ppm或亚-ppm污染物的检测要求，INFICON供应Transpector CIS2（闭式离子源）。它的特点是配备完整的联锁抽气系统，可从大气压至高真空进行过程取样。

简化的多传感器系列配置

Transpector 2的多通道功能使多室装置能更简便和经济地运行。单个计算机可操作多台Transpector在RS485网络上与CIS和XPR等型号组成任何简便与高性能的组合。每台Transpector 2可通过它配置的DIP开关简易地分配地址。为故障查找或服务功能，由RS232C接口通过HyperTerminal连接至计算机很容易完成任何传感器网络上的就地控制。在网络上每个单元单独地操作和与网络上的其它传感器同步运行，这样每台Transpector 2内的全部继电器和控制器连续动作。电源接口将由机台或外接电源供应的24伏电压连接至Transpector 2。

保持您的工艺过程和仪器本身

Transpector 2储存您的校准和设点数据，与控制计算机无关。（计算机的作用如一台外围设备，储存与显示您的过程数据，允许您与传感器通讯）。这样即使计算机与探头的连接断开或因任何其它原因丢失通讯，探头将继续进行监测与控制。此外，当总压强超过工作中的探头值限或电子学超过它的正常工作温度时，编程的真空系统可自动关断Transpector 2的发射。

Transpector 2可控制多至3个设点的状态继电器，为报警指示提供外讯号，或当气体超过它的规定值时将过程中止。两个差分的10伏模拟输入通道用于将RGA数据与模拟数据相结合（例如：总压强，光辐射或温度计数据）以及一个提供四个0-10伏输出和模拟电路板选件。

两个LED指示灯，一个显示发射on 或off，另一个显示Transpector 2的电源和是否作好通讯准备，提供Transpector状态的就地指示，免除涉及对遥控位置的PD和软件的需求。

Transpector 2INFICON残余气体质谱仪一般用途：

下列应用中的检漏，真空故障查找和出气研究：

1、 光学镀膜

2、 表面科学

3、 退吸研究

4、 加速器/储存环

5、 高能物理

6、 宇航工程

7、 MBE

工艺过程的特性化和监测中：

1、 真空热处理

2、 磁盘制造